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Aufbau einer Pulslaserdepositions-(PLD)-anlage und Untersuchungen zur PLD in den MAX-Phasen-Systemen Ti-Si-C, Cr-Al-C und Ti-Al-N

dc.contributor.advisorSchaaf, Peter Prof. Dr.de
dc.contributor.authorLange, Christiande
dc.date.accessioned2009-06-22T15:30:48Zde
dc.date.accessioned2013-01-18T13:38:07Zde
dc.date.available2013-01-30T23:51:10Zde
dc.date.issued2009-06-22de
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11858/00-1735-0000-0006-B48D-Cde
dc.identifier.urihttp://dx.doi.org/10.53846/goediss-2833
dc.description.abstractTernäre Carbide und Nitride bestimmter Zusammensetzungen, so genannte MAX-Phasen, stellen eine neue interessante Klasse von Funktionskeramiken dar. Sie vereinigen keramische Eigenschaften wie Hitze- und Oxidationsbeständigkeit mit der elektrischen Leitfähigkeit und Zerspanbarkeit von Metallen. Aufgrund ihrer nano-laminaren Kristallstruktur besitzen sie außerdem eine außergewöhnich hohe Toleranz gegenüber mechanischer Belastung. Die Arbeit beschreibt den Aufbau einer Anlage zur ionenstrahl-gestützten Pulslaserdeposition (IBA-PLD), sowie grundlegende Untersuchungen zur IBA-PLD in den drei MAX-Phasen-System Titan-Silizium-Kohlenstoff, Chrom-Aluminium-Kohlenstoff und Titan-Aluminium-Stickstoff. Dünne Schichten in den genannten Stoffsystemen wurden unter verschiedenen Bedingungen hergestellt und hinsichtlich ihrer Zusammensetzung und ausgewählten physikalischen Eigenschaften untersucht. Verwendet wurden dabei einerseits bereits vorsynthetisierte Ablationstargets der Zusammensetzungen Ti3SiC2 und Cr2AlC. Außerdem wurde die reaktive IBA-PLD eines Ti/Al-Targets mit einem zusätzlichen Stickstoffionenstrahl durchgeführt. Aufgrund des selektiven Verlustes einzelner Elemente durch Wiederabsputtern während der Deposition kommt es in keinem Fall zur Bildung von MAX-Phasen in den Schichten. Statt dessen zeigen die Schichten Eigenschaften der entsprechenden binären MX-Carbide, bzw. Nitride.de
dc.format.mimetypeapplication/pdfde
dc.language.isogerde
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nd/2.0/de/de
dc.titleAufbau einer Pulslaserdepositions-(PLD)-anlage und Untersuchungen zur PLD in den MAX-Phasen-Systemen Ti-Si-C, Cr-Al-C und Ti-Al-Nde
dc.typedoctoralThesisde
dc.title.translatedSet-up of a Pulsed Laser Deposition (PLD) facility and investigations on the PLD in the MAX phase systems Ti-Si-C, Cr-Al-C and Ti-Al-Nde
dc.contributor.refereeKrebs, Hans-Ulrich Prof. Dr.de
dc.date.examination2009-06-12de
dc.subject.dnb530 Physikde
dc.description.abstractengTernary carbides and nitrides of certain chemical compositions -so called MAX phases- are a new and interesting class of functional ceramics. These compounds are refractory and heat resistant like ceramics while at the same time being electrically conducting and machinable like metals. Moreover, due to their nano-laminar crystal structure they exhibit an excellent damage tolerance during mechanical stress. This work describes the set-up of an experimental facility for ion beam assisted pulsed laser deposition (IBA-PLD) as well as basic investigations on the IBA-PLD in the three MAX phase-systems titanium-silicon-carbon, chromium-aluminium-carbon and titanium-aluminium-nitrogen. Thin films in the afore mentioned chemical systems were synthesized under various experimental compositions and scrutinized in respect to compositions and physical properties. On one hand IBA-PLD was carried out with pre-synthesized MAX phase-targets of the compositions Ti3SiC2 and Cr2AlC. On the other hand reactive IBA-PLD was performed by ablating an elemental Ti/Al-target with an additional nitrogen ion beam. Due to the selective loss of certain elements by resputtering no MAX phases were formed in the the thin films. Instead the samples show properties of the respective binary MX-carbides or -nitrides.de
dc.subject.topicMathematics and Computer Sciencede
dc.subject.gerPLDde
dc.subject.gerMAX-Phasende
dc.subject.engPLDde
dc.subject.engMAX phasesde
dc.subject.bk33.61 Festkörperphysikde
dc.identifier.urnurn:nbn:de:gbv:7-webdoc-2143-8de
dc.identifier.purlwebdoc-2143de
dc.affiliation.instituteFakultät für Physikde
dc.subject.gokfullRV 000: Kondensierte Materie {Physik}de
dc.identifier.ppn612513416de


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