Neuaufbau eines Pelletron-Beschleunigers und Untersuchungen zum Laserhydrieren von Silizium

Schwickert, Marcus

dc.contributor.advisor	Lieb, Klaus-Peter Prof. Dr.	de
dc.contributor.author	Schwickert, Marcus	de
dc.date.accessioned	2003-03-17T15:34:01Z	de
dc.date.accessioned	2013-01-18T13:38:32Z	de
dc.date.available	2013-01-30T23:51:10Z	de
dc.date.issued	2003-03-17	de
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11858/00-1735-0000-0006-B574-7	de
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.53846/goediss-2844
dc.description.abstract	Im Rahmen dieser Arbeit wurde eine Pelletron-Beschleunigeranlage NEC 9SDH-2 vom Max-Planck-Institut für Kernphysik Heidelberg zum II. Physikalischen Institut der Universität Göttingen transferiert und neu aufgebaut. Zu dieser Anlage gehören ein sogenanntes "Amsel-Deflektor"-System und ein Low-Level Messplatz für die resonante Kernreaktionsanalyse, deren Kombination die experimentellen Voraussetzungen zum hochgenauen Wasserstoffnachweis bietet. Beim Neuaufbau des Pelletrons in Göttingen wurden die Ionenquellen grundlegend umgebaut und das Ladungssystem bezüglich der Hochspannungsfestigkeit verbessert. Anhand von 15N(1H,alpha gamma)12C-Kernresonanzen wurde eine Energie-Eichung des Beschleunigers durchgeführt. Ein System von "Amsel-Deflektor"-Platten wurde aufgebaut und der Verstärkungsfaktor G0 für den 15N- und Protonenstrahl wurden theoretisch und experimentell bestimmt. Mit Hilfe dieses Messplatzes wurde die Wasserstoff-Aufnahme von laserhydrierten Titan- und Siliziumproben untersucht. Mit "Laserhydrieren" wird die Laserbestrahlung von Materialien in Wasserstoffatmosphäre bezeichnet. Das Laserhydrieren von Titan führt zu einem stark erhöhten Wasserstoffgehalt und zur Bildung von TiH2. Messungen zum Laserhydrieren von kristallinem und ionenstrahl-amorphisiertem Silizium zeigen nur eine geringe Wasserstoffaufnahme durch das Laserhydrieren. Im Fall des kristallinen Siliziums weisen die laserhydrierten Proben eine starke Schädigung im oberflächennahen Bereich auf, die als Diffusionsfalle für den beim Laserhydrieren eingebrachten Wasserstoff wirkt. Das Laserhydrieren von Xe-amorphisierten Siliziumproben führt bei Laserfluenzen von F<2 J/cm2 zur Bildung von polykristallinem Silizium und zu einer sehr geringen Wasserstoffaufnahme.	de
dc.format.mimetype	application/pdf	de
dc.language.iso	ger	de
dc.rights.uri	http://webdoc.sub.gwdg.de/diss/copyrdiss.htm	de
dc.title	Neuaufbau eines Pelletron-Beschleunigers und Untersuchungen zum Laserhydrieren von Silizium	de
dc.type	doctoralThesis	de
dc.title.translated	Rebuild of a pelletron accelerator and investigations on laser hydriding of silicon	de
dc.contributor.referee	Krebs, Hans-Ulrich Prof. Dr.	de
dc.date.examination	2002-10-29	de
dc.subject.dnb	530 Physik	de
dc.description.abstracteng	Within the context of this thesis, a pelletron accelerator laboratory NEC 9SDH-2 was moved from the Max-Planck-Institut für Kernphysik Heidelberg to the II. Physikalisches Institut der Universität Göttingen, where it was reassembled. This accelerator facility is equipped with a so-called "Amsel-deflector" system and a low-level experimental setup for resonant nuclear reaction analysis, a combination which allows high resolution hydrogen detection. During the reassembly of the pelletron in Göttingen the ion sources were newly designed and the charging system was improved considerably. With the use of 15N(1H,alpha gamma)12C-nuclear reactions an energy calibration of the accelerator was performed. A system of "Amsel-deflector"-plates was mounted and the gain factor G0 for both, 15N- and proton-beam, was determined theoretically and experimentally. With the help of this setup the hydrogen take-up of laser hydrided titanium and silicon samples was investigated. The term "laser hydriding" denotes the laser irradiation of materials in hydrogen atmosphere. Laser hydriding of titanium leads to an highly increased hydrogen content and the creation of TiH2. Measurements of laser hydrided crystalline and ion beam amorphized silicon samples show only a small hydrogen take-up. In the case of crystalline silicon, the laser hydrided samples contain a highly damaged area near the sample surface that acts as a diffusion trap for the incorporated hydrogen. Laser hydriding of Xe amorphized silicon samples at laser fluences of F<2J/cm2 results in the creation of polycrystalline silicon and low hydrogen take-up.	de
dc.contributor.coReferee	Hofsäss, Hans Christian Prof. Dr.	de
dc.contributor.thirdReferee	Seibt, Michael PD Dr.	de
dc.subject.topic	Mathematics and Computer Science	de
dc.subject.ger	Ionenstrahlen	de
dc.subject.ger	MaRPel	de
dc.subject.ger	resonante Kernreaktionsanalyse	de
dc.subject.ger	NRA	de
dc.subject.ger	RBS-Channeling	de
dc.subject.ger	Excimer-Laser Rekristallisation	de
dc.subject.ger	ELC	de
dc.subject.ger	Laserhydrieren	de
dc.subject.ger	Wasserstoff	de
dc.subject.ger	Titan	de
dc.subject.ger	Silizium	de
dc.subject.eng	ion beam	de
dc.subject.eng	MaRPel	de
dc.subject.eng	nuclear reactions analysis	de
dc.subject.eng	NRA	de
dc.subject.eng	RBS-channeling	de
dc.subject.eng	excimer laser recrystallization	de
dc.subject.eng	ELC	de
dc.subject.eng	laser hydriding	de
dc.subject.eng	hydrogen	de
dc.subject.eng	titanium	de
dc.subject.eng	silicon	de
dc.subject.bk	33.05	de
dc.subject.bk	33.61	de
dc.subject.bk	33.68	de
dc.identifier.urn	urn:nbn:de:gbv:7-webdoc-545-2	de
dc.identifier.purl	webdoc-545	de
dc.affiliation.institute	Fakultät für Physik	de
dc.subject.gokfull	RT700	de
dc.subject.gokfull	RTJ500	de
dc.subject.gokfull	RVC850	de
dc.identifier.ppn	362446369	de

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