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Photoakustische Online-Spektroskopie von Schichten im Nanometer-Bereich
(Niedersächsische Staats- und Universitätsbibliothek Göttingen, 2014-03-28)
Die Messung der Schichtdicke und die Charakterisierung von Oberflächen ist in
modernen Produktionsprozessen von elementarem Interesse. Fehler wirken sich
nicht nur unmittelbar sondern auch in der Weiterverarbeitung zum ...