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Mikrostruktur und Wachstum bei der ionenstrahlunterstützten Deposition von Yttrium-stabilisierten Zirkonoxid-Filmen
(2003-02-26)
In dieser Arbeit wurden transmissionselektronenmikroskopische Untersuchungen (TEM) an bei Raumtemperatur, mittels Ionenstrahlunterstützter Deposition (IBAD) abgeschiedener ...