Wasserstoffbeladene metallische Multischichten wurden mit der tomographischen Atomsonde (TAP) und der Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) auf ihre chemische zusammensetzung mit Auflösungen auf Subnanometerskala untersucht. ...

Nanoanalyse höchster Auflösung von metallischen Schichtsystemen Die Festkörperreaktion im Bereich der Dünnfilmanwendung ist in den letzten Jahren weiter in den Focus aktueller Forschung gerückt. Technologische Anwendungen ...

Metallische Schichtsysteme mit Schichtdicken im Nanometerbereich werden insbesondere durch die stetige Verkleinerung der Strukturbreiten in der Halbleiterindustrie technologisch zunehmend ...