Dokumente Fakultät für Chemie (inkl. GAUSS) nach Gutachter "Viöl, Wolfgang Prof. Dr."
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Plasmagestützte Syntheseverfahren zur Erzeugung von Parylene-Metall-Multilayersystemen
(2023-10-27)This dissertation comprises the investigation of new synthesis possibilities of Parylene-metal multilayer systems with all process steps united in a single Parylene coating device. For this purpose, the metal layer component ...