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Characterization of hydrogenated silicon thin films and its alloys by the photoconductivity frequency mixing and transient thermoelectric effects methods
(2003-11-25)
Der Ladungstransport in wasserstoffbeladenen Silizium (poly-Si:H)- Schichten wurde untersucht. Die Proben wurden durch die Abscheidung von Silan aus der Gasphase in der Umgebung eines heißen ...