dc.contributor.advisor | Krebs, Hans-Ulrich Prof. Dr. | de |
dc.contributor.author | Liese, Tobias | de |
dc.date.accessioned | 2012-08-23T15:59:04Z | de |
dc.date.accessioned | 2013-01-18T13:43:06Z | de |
dc.date.available | 2013-01-30T23:51:13Z | de |
dc.date.issued | 2012-08-23 | de |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11858/00-1735-0000-000D-F08A-8 | de |
dc.identifier.uri | http://dx.doi.org/10.53846/goediss-2949 | |
dc.description.abstract | Die Mikroskopie mit kurzwelliger
Röntgenstrahlung (0,001 – 10 nm Wellenlänge) hat sich zunehmend als
komplementäres Bindeglied zwischen der Licht- und der
Elektronenmikroskopie etabliert. Die dazu notwendige Fokussierung
von Röntgenstrahlen mittels Transmissionsoptiken wie z. B.
Zonenplatten ist zu einer Standardmethode geworden, mit der sich
mittlerweile experimentelle Auflösungen von ungefähr 10 nm
erreichen lassen. Besonders schwierig ist hierbei jedoch die
Realisierung hoher Aspektverhältnisse (niedrige Zonenbreite bei
hoher Zonentiefe), um hochauflösende und gleichzeitig
beugungseffiziente Optiken herzustellen. Eine vielversprechende
Alternative stellt die Fabrikation von ein- oder zweidimensionalen
Zonenplattenstrukturen, sog. Multilagen-Laue-Linsen oder
Multilagen-Zonenplatten (Linien- oder Punktfokus) auf der Basis
aperiodischer Multischichten dar. Die vorliegende Dissertation
beschäftigt sich mit der Entwicklung und Optimierung einer
neuartigen Herstellungsmethode multilagenbasierter
Transmissionsoptiken für den weichen (0,5 – 6 nm) und harten
Röntgenwellenlängenbereich (< 0,5 nm), welche die Verwendung
zweier komplementärer Methoden umfasst: die gepulste
Laserdeposition und die fokussierte Ionenstrahltechnik. Im
Vordergrund steht dabei ein elementares physikalisches Verständnis
von gezieltem Schichtwachstum und realer Grenzflächeneigenschaften
geeigneter Materialsysteme sowie eine defektfreie und
unkomplizierte Fabrikation entsprechender Optiken zur effizienten
Fokussierung von Röntgenstrahlung mit möglichst hoher Auflösung.
Wie im Verlauf der Arbeit deutlich wird, eröffnet dieses innovative
Verfahren neue physikalische und technologische Wege zur
Nanofokussierung weicher und harter Röntgenstrahlung für die
Anwendung hochauflösender Röntgenmikroskopie im Bereich unter 10
nm. | de |
dc.format.mimetype | application/pdf | de |
dc.language.iso | ger | de |
dc.rights.uri | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/ | de |
dc.title | Multilagenbasierte Transmissionsoptiken für die Röntgenmikroskopie | de |
dc.type | doctoralThesis | de |
dc.title.translated | Multilayer based transmission optics for x-ray microscopy | de |
dc.contributor.referee | Krebs, Hans-Ulrich Prof. Dr. | de |
dc.date.examination | 2012-05-15 | de |
dc.subject.dnb | 530 Physik | de |
dc.subject.gok | RD 000 | de |
dc.subject.gok | RP 000 | de |
dc.subject.gok | RRE 000 | de |
dc.subject.gok | RVC 000 | de |
dc.subject.gok | RVS 000 | de |
dc.subject.gok | RXE 000 | de |
dc.description.abstracteng | Microscopy in the x-ray regime (0,001 – 10
nm wavelength) is a well-established method filling the gap between
light and electron microscopy. Focusing of x-rays using
transmission optics like zone plates, spatial resolutions in the
range of 10 nm were already experimentally reached. Nevertheless,
fabricating high resolution and also efficient optics, high aspect
ratios (between zone height and zone width) are needed. Hence,
promising alternatives are one- or two-dimensional multilayer based
transmission optics namely multilayer Laue lenses (line focus) and
multilayer zone plates (point focus). This dissertation deals with
the development and optimization of a novel fabrication method of
such multilayer based transmission optics for soft (0,5 – 6 nm) and
hard x-rays (< 0,5 nm), which involves the combination of pulsed
laser deposition and focused ion beam technique. For this purpose,
the main focus is placed on an elementary understanding of specific
layer growth and real interface properties of appropriate material
systems as well as a straightforward fabrication process of
suitable devices without any defects. This innovative method
establishes new physical and technological paths to highly focus
both soft and hard x-rays with a spatial resolution below 10
nm. | de |
dc.contributor.coReferee | Köster, Sarah Prof. Dr. | de |
dc.subject.topic | Physics | de |
dc.subject.ger | Gepulste Laserdeposition | de |
dc.subject.ger | Fokussierte Ionenstrahltechnik | de |
dc.subject.ger | Röntgenmikroskopie | de |
dc.subject.ger | Zonenplatte | de |
dc.subject.ger | Multilagen-Laue-Linse | de |
dc.subject.ger | Multilagen-Zonenplatte | de |
dc.subject.ger | dünne Schichten | de |
dc.subject.ger | Grenzflächen | de |
dc.subject.ger | kumulative Rauigkeit | de |
dc.subject.ger | Glättung | de |
dc.subject.eng | pulsed laser deposition | de |
dc.subject.eng | focused ion beam | de |
dc.subject.eng | x-ray microscopy | de |
dc.subject.eng | x-ray optics | de |
dc.subject.eng | zone plate | de |
dc.subject.eng | multilayer Laue lens | de |
dc.subject.eng | multilayer zone plate | de |
dc.subject.eng | thin films | de |
dc.subject.eng | interface | de |
dc.subject.eng | cumulative roughness | de |
dc.subject.eng | smoothing | de |
dc.subject.bk | 33.00 | de |
dc.subject.bk | 33.18 | de |
dc.subject.bk | 33.68 | de |
dc.subject.bk | 33.79 | de |
dc.identifier.urn | urn:nbn:de:gbv:7-webdoc-3669-9 | de |
dc.identifier.purl | webdoc-3669 | de |
dc.affiliation.institute | Fakultät für Physik | de |
dc.identifier.ppn | 731732499 | de |